科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由政府支持的企業，已啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠（）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌4.8%。
消息人士透露，這家總部位於上海的企業，已從其他陸企延攬人才，組成深紫外光技術團隊，人才來源包括政府支持的設備製造新創上海宇量昇科技。
該報導指出，若這家企業成功大量生產DUV微影設備，可能取代艾司摩爾的設備。該公司預計今年生產大約五台DUV微影設備，將交付給中芯國際、華虹宏力、長鑫存儲等大陸晶片製造商；預料明年大約生產20台。
上海宇量昇科技、中芯國際、華虹宏力、長鑫存儲均未回應The Information的置評請求。
