南韓消息傳出,清洗先進晶圓所需的高純度二氧化碳(CO2)供給吃緊。目前尚未影響和生產,但兩家公司加價搶購,仍難以取得。業界估計,短缺情況可能持續到年底。
韓媒The Elec報導,知情人士透露,供給短缺尚未衝擊三星和SK海力士生產,但庫存緩衝持續減少,促使兩家公司加緊採購。但縱使提高價碼,要取得額外供給仍日益困難。氣體供應商高層表示:「原料完全不夠,我們無法供給客戶所需數量。短期內沒有實際方式能提高產量」。
高純度CO2用於半導體清洗,液態CO2進入超臨界(supercritical)狀態時,會兼具液體和氣體特質,液態般的濃度能有效溶解晶圓殘留物與污染物,而氣態特質能深入線路細部,去除晶片結構深處的微粒。先進半導體的線路間距極窄、深寬比高,需要超臨界清洗。
未純化CO2是煉油、石化、氫能生產的副產品。業界人士指出,伊朗衝突下,原油供給不穩,導致南韓石化廠產能利用率下滑,讓CO2短缺惡化。液態CO2價格自年初以來,估計已經上漲兩成,業界預料供給吃緊將持續到今年底。